芯片股集体活跃，半导体设备ETF（561980）早盘涨1.24%，上市规模首度突破5亿元

10月17日，芯片板块活跃，文一科技强势涨停，和林微纳、清溢光电、深科达、中芯国际、芯源微、神工股份等涨逾2%，至纯科技、兆易创新、立昂微、雅克科技、康强电子、上海新阳等跟涨。

ETF方面，半导体设备ETF（561980）早盘高位震荡，截至发文涨幅1.33%，成交额近1400万元。资金面数据显示，该ETF近5日已累获2.68亿元资金净申购买入。

光大证券指出，目前，我国半导体光刻胶国产化率仍处于较低水平。数据显示，其中KrF、ArF光刻胶对外依赖最为严重，国产化率均仅在1%水平。由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国半导体光刻胶市场超90%主要依赖进口。本土厂商虽起步较晚，但目前处于国产化加速期。

距此前官方披露“国产28纳米光刻机”相关消息不久，国产光刻胶也来了，相关领域“自主创新”成果进入“集中落地期”，不仅将带动相关产业链高质量发展，甚至可能成为加速整个实体经济产业升级的“关键节点”。具体到A股市场，在股市整体休整阶段，类似“光刻胶/光刻机”这样具有“自主创新”概念，且“国产替代”空间巨大的“稀缺品种”，有望获得长线资金的重点关注。

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